Návštěvou těchto stránek souhlasí s použitím cookies. Více o naší Cookie Policy.

GOST 24392-80

GOST 33729-2016 GOST 20996.3-2016 GOST 31921-2012 GOST 33730-2016 GOST 12342-2015 GOST 19738-2015 GOST 28595-2015 GOST 28058-2015 GOST 20996.11-2015 GOST 9816.5-2014 GOST 20996.12-2014 GOST 20996.7-2014 GOST R 56306-2014 GOST R 56308-2014 GOST 20996.1-2014 GOST 20996.2-2014 GOST 20996.0-2014 GOST 16273.1-2014 GOST 9816.0-2014 GOST 9816.4-2014 GOST R 56142-2014 GOST R 54493-2011 GOST 13498-2010 GOST R 54335-2011 GOST 13462-2010 GOST R 54313-2011 GOST R 53372-2009 GOST R 53197-2008 GOST R 53196-2008 GOST R 52955-2008 GOST R 50429.9-92 GOST 6836-2002 GOST 6835-2002 GOST 18337-95 GOST 13637.9-93 GOST 13637.8-93 GOST 13637.7-93 GOST 13637.6-93 GOST 13637.5-93 GOST 13637.4-93 GOST 13637.3-93 GOST 13637.2-93 GOST 13637.1-93 GOST 13637.0-93 GOST 13099-2006 GOST 13098-2006 GOST 10297-94 GOST 12562.1-82 GOST 12564.2-83 GOST 16321.2-70 GOST 4658-73 GOST 12227.1-76 GOST 16274.0-77 GOST 16274.1-77 GOST 22519.5-77 GOST 22720.4-77 GOST 22519.4-77 GOST 22720.2-77 GOST 22519.6-77 GOST 13462-79 GOST 23862.24-79 GOST 23862.35-79 GOST 23862.15-79 GOST 23862.29-79 GOST 24392-80 GOST 20997.5-81 GOST 24977.1-81 GOST 25278.8-82 GOST 20996.11-82 GOST 25278.5-82 GOST 1367.7-83 GOST 26239.9-84 GOST 26473.1-85 GOST 16273.1-85 GOST 26473.2-85 GOST 26473.6-85 GOST 25278.15-87 GOST 12223.1-76 GOST 12645.7-77 GOST 12645.1-77 GOST 12645.6-77 GOST 22720.3-77 GOST 12645.4-77 GOST 22519.7-77 GOST 22519.2-77 GOST 22519.0-77 GOST 12645.5-77 GOST 22517-77 GOST 12645.2-77 GOST 16274.9-77 GOST 16274.5-77 GOST 22720.0-77 GOST 22519.3-77 GOST 12560.1-78 GOST 12558.1-78 GOST 12561.2-78 GOST 12228.2-78 GOST 18385.4-79 GOST 23862.30-79 GOST 18385.3-79 GOST 23862.6-79 GOST 23862.0-79 GOST 23685-79 GOST 23862.31-79 GOST 23862.18-79 GOST 23862.7-79 ГОСТ 23862.1-79 GOST 23862.20-79 GOST 23862.26-79 GOST 23862.23-79 GOST 23862.33-79 GOST 23862.10-79 GOST 23862.8-79 GOST 23862.2-79 GOST 23862.9-79 GOST 23862.12-79 GOST 23862.13-79 GOST 23862.14-79 GOST 12225-80 GOST 16099-80 GOST 16153-80 GOST 20997.2-81 GOST 20997.3-81 GOST 24977.2-81 GOST 24977.3-81 GOST 20996.4-82 GOST 14338.2-82 GOST 25278.10-82 GOST 20996.7-82 GOST 25278.4-82 GOST 12556.1-82 GOST 14339.1-82 GOST 25278.9-82 GOST 25278.1-82 GOST 20996.9-82 GOST 12554.1-83 GOST 1367.4-83 GOST 12555.1-83 GOST 1367.6-83 GOST 1367.3-83 GOST 1367.9-83 GOST 1367.10-83 GOST 12554.2-83 GOST 26239.4-84 GOST 9816.2-84 GOST 26473.9-85 GOST 26473.0-85 GOST 12645.11-86 GOST 12645.12-86 GOST 8775.3-87 GOST 27973.0-88 GOST 18904.8-89 GOST 18904.6-89 GOST 18385.0-89 GOST 14339.5-91 GOST 14339.3-91 GOST 29103-91 GOST 16321.1-70 GOST 16883.2-71 GOST 16882.1-71 GOST 12223.0-76 GOST 12552.2-77 GOST 12645.3-77 GOST 16274.2-77 GOST 16274.10-77 GOST 12552.1-77 GOST 22720.1-77 GOST 16274.4-77 GOST 16274.7-77 GOST 12228.1-78 GOST 12561.1-78 GOST 12558.2-78 GOST 12224.1-78 GOST 23862.22-79 GOST 23862.21-79 GOST 23687.2-79 GOST 23862.25-79 GOST 23862.19-79 GOST 23862.4-79 GOST 18385.1-79 GOST 23687.1-79 GOST 23862.34-79 GOST 23862.17-79 GOST 23862.27-79 GOST 17614-80 GOST 12340-81 GOST 31291-2005 GOST 20997.1-81 GOST 20997.4-81 GOST 20996.2-82 GOST 12551.2-82 GOST 12559.1-82 GOST 1089-82 GOST 12550.1-82 GOST 20996.5-82 GOST 20996.3-82 GOST 12550.2-82 GOST 20996.8-82 GOST 14338.4-82 GOST 25278.12-82 GOST 25278.11-82 GOST 12551.1-82 GOST 25278.3-82 GOST 20996.6-82 GOST 25278.6-82 GOST 14338.1-82 GOST 14339.4-82 GOST 20996.10-82 GOST 20996.1-82 GOST 12645.9-83 GOST 12563.2-83 GOST 19709.1-83 GOST 1367.11-83 GOST 1367.0-83 GOST 19709.2-83 GOST 12645.0-83 GOST 12555.2-83 GOST 1367.1-83 GOST 9816.3-84 GOST 9816.4-84 GOST 9816.1-84 GOST 9816.0-84 GOST 26468-85 GOST 26473.11-85 GOST 26473.12-85 GOST 26473.5-85 GOST 26473.7-85 GOST 16273.0-85 GOST 26473.3-85 GOST 26473.8-85 GOST 26473.13-85 GOST 25278.13-87 GOST 25278.14-87 GOST 8775.1-87 GOST 25278.17-87 GOST 18904.1-89 GOST 18904.0-89 GOST R 51572-2000 GOST 14316-91 GOST R 51704-2001 GOST 16883.1-71 GOST 16882.2-71 GOST 16883.3-71 GOST 8774-75 GOST 12227.0-76 GOST 12797-77 GOST 16274.3-77 GOST 12553.1-77 GOST 12553.2-77 GOST 16274.6-77 GOST 22519.1-77 GOST 16274.8-77 GOST 12560.2-78 GOST 23862.11-79 GOST 23862.36-79 GOST 23862.3-79 GOST 23862.5-79 GOST 18385.2-79 GOST 23862.28-79 GOST 16100-79 GOST 23862.16-79 GOST 23862.32-79 GOST 20997.0-81 GOST 14339.2-82 GOST 12562.2-82 GOST 25278.7-82 GOST 20996.12-82 GOST 12645.8-82 GOST 20996.0-82 GOST 12556.2-82 GOST 25278.2-82 GOST 12564.1-83 GOST 1367.5-83 GOST 25948-83 GOST 1367.8-83 GOST 1367.2-83 GOST 12563.1-83 GOST 9816.5-84 GOST 26473.4-85 GOST 26473.10-85 GOST 12645.10-86 GOST 8775.2-87 GOST 25278.16-87 GOST 8775.0-87 GOST 8775.4-87 GOST 12645.13-87 GOST 27973.3-88 GOST 27973.1-88 GOST 27973.2-88 GOST 18385.6-89 GOST 18385.7-89 GOST 28058-89 GOST 18385.5-89 GOST 10928-90 GOST 14338.3-91 GOST 10298-79 GOST R 51784-2001 GOST 15527-2004 GOST 28595-90 GOST 28353.1-89 GOST 28353.0-89 GOST 28353.2-89 GOST 28353.3-89 GOST R 52599-2006

GOST 24392−80

INTERSTATE STANDARD

KŘEMÍK A GERMANIUM MONOKRYSTALICKÉ

ROZMĚR ODOLNOSTÍ ELEKTRICKÉHO ODPORU METODOU ЧЕТЫРЕХЗОНДОВЫМ

Oficiální vydání

BZ 10−99

IPK VYDAVATELSTVÍ NOREM Moskva

UDK 669.782/.783−172:621.317.33:006.354 Skupina В59

INTERSTATE STANDARD

KŘEMÍK A GERMANIUM JEDINÉHO CRYSTAL A ČESKÝ E

GOST

A).мереиис konkrétní elektrický odpor 1 1

čtyři зонловым метолом 24392−80

Monocrystalline silicon and germanium.

Measurement of the electrical resistivity by the lour-probe method

ОКСТУ 1770

Datum LETECTVA.1СНМЯ 01.01.81

Tato norma stanovuje четырехзондовый metoda měření odolností elektrického odporu na rovném povrchu ingotů монокристаллических křemíku a německo elektronické nebo дырочного typu elektrické vodivosti v rozmezí hodnot konkrétní elektrický odpor M-4 Ω cm až 1 10* Om viz

Metoda je založena na měření rozdílu potenciálů mezi dvěma sondy четырехзондовой měřící hlavy, instalovaný na povrchu sledovaného образна, při пропускании elektrického proudu určité velikosti přes další dva bodové sondy, umístěné na stejném povrchu, a výpočtech, které konkrétní elektrický odpor.

(Upravená verze, Ism. Č. 2).

I. ZAŘÍZENÍ A MATERIÁLY

Přehledové schéma měřicí instalace je uveden na výkresu.

4

/ — lichá ырехзонловая a верительная gól to ka: 2 — zdroj пасюки někoho ozvučná deska:

3 — přístroj pro záměr elektrického napětí: 4 — vzorek

Измерите.тьная instalace musí být аттестована na chyby měření konkrétní elektrický odpor, není vyšší než 5%.

1.1. Měřicí четырехзондовая korunka se čtyřmi lineárně uspořádané sondy z karbidu wolframu, musí odpovídat požadavkům uvedených v tabulka. 1.

Tabulka 1

Nominální hodnota межюндопою vzdálenosti cm Povolená odchylka межюндопою vzdálenosti. % Síla klipu зоила F. N Липейный velikost pracovní плошалки sondy, um, nic víc
0,159
0.130 11 0.50−2.00 60
0.075
Oficiální vydání Dotisk воспрещена

© Nakladatelství norem. 1980 £> A P. Pk Vydavatelství norem. 2001

S. 2 GOST 24392−80

1.2. Zdroj stejnosměrného proudu, který zajišťuje vytvoření měřicí obvod elektrického proudu variabilní polarita, musí odpovídat požadavkům uvedených v tabulka. 2. Tabulka 2

Horní limit a «меряемого odolností элеюрического odporu rv Ohm cm Всрхннн limit elektrického proudu /. A Horní hranice měřeného elektrického napětí V, V Vstupní elektrický odpor měřicího přístroje L.m. Om, ne méně
-3 1,010-' 2,1 10-1 1I03
1 10-g 1,010-' 2,1−10-3 M4
1−10-« 1,010' 2.1 10-3 1 101
1 10° 8,2 10~2 кою-' M6
I101 8,2 10-3 1,010-' Ы0T
M2 8,2−10-4 1,010-' 110*
NA3 8,2 10* 1,010-' 2−10*
* 8,2−10-6 1,010-' na9

1.2.1. Povolená nestabilita elektrického proudu během měření by neměla být vyšší než 0,5%.

1.2.2. Chyba měření síly elektrického proudu — ne více než 0.5%.

1.3. Přístroj pro měření elektrického napětí s chybou ne více než 1%, musí odpovídat požadavkům uvedených v tabulka. 2.

1.4. Odpor izolace měřicí obvod musí být menší než vstupní odpor měřicího přístroje.

1.5. Pomocná zařízení a materiály

Teploměr s chybou měření není větší než 0,5 *S.

Brusné materiály podle GOST 3647.

Nástroje, diamantové, s použitím diamantového prášku podle GOST 9206.

Prášky diamantové.

Papír filtrační pro GOST 12026.

Papír промокательная.

Бязь bělené podle GOST 2929S.

Materiál обтирочный — obalový, filtrační art. 6313 nebo 6304.

Voda je pitná podle GOST 2874*.

Líh podle GOST 18300.

Domácí používání nástrojů a materiálů, není уступающих výše podle jejich vlastností a kvality.

2. PŘÍPRAVA VZORKŮ A PODMÍNKY MĚŘENÍ

2.1. Měření se provádějí na rovné povrchy, které mají parametr drsnosti-Ra podle GOST 2789 ne více než 2,5 mikronů. Měření konkrétní elektrický odpor křemíku p-typu elektrické vodivosti z p na více než 10J Ohm cm tráví na rovné povrchy s parametrem drsnosti R. v rozmezí (20

2.1. G Pro zajištění požadované drsnosti povrchu образны brousit s abrazivních materiálů nebo nástroje, diamantové, s použitím diamantového prášku.

2.1.2. Po broušení vzorky omyty tekoucí pitné nebo čištěné technickou vodou, suší filtrační (savý) papír nebo jiné materiály a обезжиривают lihem.

2.2. Měřená vzdálenost mezi okrajem (zahraničí rovině) a nejblíže k němu sonda by měla být alespoň 4 /0, kde /0 — nominální hodnota межзондового vzdálenosti.

2.3. Při měření odolností elektrického odporu tvořit prutů šířka měřicí trati musí být nejméně 6 /0.

2.4. Měření provádějí při pevné teplotě (23±2) 'S. Kontrolovaných образны se přivádí do teploty, při kterém provádějí měření. Domácí drží измере-

1

Na území Ruské Federace působí GOST P 51232−98.

GOST 24392−80 S. 3

ний při pevné s chybou ±0,5 'S teplotu v rozmezí (23±5) «provedením температурную korekci výsledků měření v souladu s aplikací.

2.5. Měření konkrétní elektrický odpor německo s r více než 45 Омсм a křemíku s p více než 200 Ohm cm provádět při zatemnění vzorku. Pro ostatní rozsahy konkrétní elektrický odpor domácí osvětlení vzorků difuzní světlo ne více než 500 pc.

3. PROVÁDĚNÍ MĚŘENÍ A ZPRACOVÁNÍ VÝSLEDKŮ

3.1. Na povrch vzorku, stanovené v držáku, plynule namočený sondy měřící hlavy kolmo k povrchu.

3.2. Přes vzorek propouští elektrický proud / a naměřené hodnoty rozdílu потенциачов mezi vnitřní potenciální sondy při dvou полярностях elektrického proudu. Za výsledek měření rozdílu potenciálů U brát aritmetický průměr získaných hodnot. Hodnota elektrického proudu stanoveny v souladu s požadavky tabulka. 2.

3.3. Vypočítejte hodnotu konkrétní elektrický odpor r, Ohm cm, podle vzorce (1)

kde U — hodnota rozdílu potenciálů. V:

/- hodnota elektrického proudu, při kterém provádějí měření. L;

/, фф — efektivní hodnota межзондового vzdálenosti, вычисляемое podle vzorce (2)

(2)

kde /, /2, /3 — vzdálenost mezi prvním a druhým, druhým a třetím, třetím a čtvrtým sondy

resp.

Při použití четырехзондовой hlavy, u níž je odchylka межзондового vzdálenosti od jmenovité hodnoty /0 nepřesahuje ±1%, do vzorce (2) poskytnou hodnota / = /0.

3.4. Domácí provádění měření a zpracování výsledků pomocí automatizace pomocí, изложенному v této normě.

Разд. 1−3. (Upravená verze, Ism. Č. 2).

4. PŘEHLED VÝSLEDKŮ MĚŘENÍ A NORMY NA UKAZATELE PŘESNOSTI

4.1. Výsledkem měření konkrétní elektrický сопротиаления яашется hodnota, vypočítaná podle vzorce (I).

4.2. Náhodná složka chyby měření konkrétní elektrický сопротиале-vání, popisující схолимость výsledků měření nesmí překročit ±2% při spolehlivosti pravděpodobnost P = 0.95.

4.3. Celková chyba měření nesmí překročit ±5% při kontrole vzorků s r<103 Ohm cm a není větší než ±8% při kontrole vzorků z měrné elektrickým odporem přes 103 Ω cm při spolehlivosti pravděpodobnost P = 0.95.

4.4. Výsledek měření konkrétní elektrický odpor предстааляют трехзначным číslo, pokud je první číslice яаляются 1, 2, 3, a dvouciferné, pokud je první číslo větší než 3.

Разд. 4. (Uveden dále. Ism. Č. 2).

S. 4 GOST 24392−80

APLIKACE

Povinné

Výsledek měření konkrétní elektrický odpor vedou k teplotě ^ = 23 'S podle vzorce

Wg (3)

0 *! — S (/-%)'

kde p, p — měrný elektrický odpor. Ohm cm;

S — teplotní koeficient (tabulka. 1, 2);

/ — nominální teplota v rozmezí (23±5) 4 S; p, p — měrný элскгрическое odpor při 23 'S. g*

Výsledek měření konkrétní elektrický odpor může být uveden na jakékoli nominální teplotě v rozmezí (23±5) «S.

Tabulka I

Teplotní коэффиииет na křemíku Ишерпал konkrétní elektrický odpor

o

s

n

v

0.0001 -0.004 0.004 — 0.04 0.04−0.1 km 0.1−1.0   1.0−10.0 10,0−10000

l-typ,

1/hrad

 0,002 0.001 0.004 0.006   0.008 0.008

p-typu,

1/hrad

 0.001 0.001 0,003 0,006   0,008 0.009

Таблипа 2

Тсмиер: пурный ke >ффиииен ■ pro německo Ишерпал konkrétní elektrický odpor. Ohm cm
0.0001−0.001 0.001−0.01 0.01−0.1 km 0.1−1.0 1.0−10 10−100
já jsem typ, 1/grad 0,002 0,001 0,004 0.006   0.006 0.006
p-typ 1/grad 0,002 0.002 0,004 0,007   0,008 0.008

APLIKACE. (Upravená verze, Ism. Č. 2).

GOST 24392−80 S. 5

ИНФОРМАЦИОННЫ E ÚDAJE

1. VYVINUT A ZAVEDEN Ministerstvem hutnictví SSSR

2. SCHVÁLEN A UVEDEN V PLATNOST Vyhláška Státního výboru SSSR pro standardy od 15.09.80 číslo 4705

3. GOST 24392−80 odpovídá ČL CODE 1250−78

4. PŘEDSTAVEN POPRVÉ

5. REFERENCE NORMATIVNÍ A TECHNICKÉ DOKUMENTACE

Обошачеимс НТД. na kterým je dána odkaz Číslo položky Обошаченме НТД. nm, který je lama odkaz Číslo položky
GOST 2789−73 2.1 GOST 12026−76 1.5
GOST 2874−82 1.5 GOST 18300−87 1.5
GOST 3647−80 1.5 GOST 29298−92 1.5
GOST 9206−80 1.5

6. Omezení platnosti natočeno na Protokol)' Č. 5−94 Interstate Rady, ale normalizace. metrologii a certifikaci (ICC 11−12−94)

7. VYDÁNÍ (březen 2001) se Změnami Č. I, 2, schváleno v květnu roku 1985 činil, нюне roce 1990 (ИУС 8−85, 10−90)

Editor T. P. Шашипа Technický editor La La Гусгша Korektor Stol. Tj. Čestné dtp La Va Kruhové

Nad. tváří. N: 1)2354 od 1−1.07.2000. Postaveno celkem je v sadu 10.04.2001. Podepsána v tisku 20.04.2001. Уел. pech. la 0.93.

Flaviovi.*itll. jsem. 0,50. Oběh je 117 w. S 816. Zach. 455.

IPK Vydavatelství norem 107076. Moskva. Колодезник pere… 14.

Наордио a Nakladatelství na ПЭВМ Pobočka IPK A тдатсльство normy — typ. «Moskva grafik*. 103062. Moskva. Лялин pere… 6.

Плр 0S0I02